產(chǎn)品介紹：
2L等離子清洗機13.56MHz采用純凈的石英腔體，主機頻率13.56MHz，可用于多種材料的高效清洗。清洗效果遠遠優(yōu)于40KHz的低頻清洗。臺式高效等離子清洗機可用于手機屏幕、儀表屏幕等精密部件的高效清洗，也可用于材料表面的親水性處理。2L等離子清洗機13.56MHz是材料制備過程中****的理想產(chǎn)品。
使用范圍：
（1）表面清洗
材料表面嘗嘗會有油脂、油污等有機物及氧化層，在粘合、焊接前，需要用等離子處理來得到*潔凈和無氧化層的表面。適用于金屬、玻璃、陶瓷燈多種材料。
（2）表面活化
塑料、玻璃、陶瓷與聚乙烯（PE）、聚丙烯（PP）、聚四氟（PTFE）等一樣是沒有極性的，因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進行處理。在惰性材料表面生成活性基團，增強表面極性，提高表面能。等離子處理與灼燒處理相比，不會損害樣品，同時還可以十分均勻地處理整個表面，不會產(chǎn)生有毒煙氣，盲孔和帶縫隙的樣品也可以處理。
（3）表面刻蝕
在等離子刻蝕過程中，通過處理 氣體的作用，被刻蝕物會變成氣化物（例如在使用氟氣對硅刻蝕時）。處理 氣體和基體氣化物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續(xù)被新鮮的處理 氣體覆蓋。無需刻蝕部分應(yīng)使用相應(yīng)材料覆蓋起來（例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料。）
（4）表面接枝與聚合
在等離子體表面活化產(chǎn)生的基團或等離子體引發(fā)聚合層不能與材料表面牢固結(jié)合時，采用等離子體接枝的方法來改善。等離子體接枝的原理為：首先利用表面活化在材料表面產(chǎn)生新的活性基團，利用此基團與后續(xù)的活性物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)共價鍵結(jié)合，后續(xù)的活性物質(zhì)中帶有能夠滿足應(yīng)用的特定基團，以達到既能滿足表面特性又能牢固結(jié)合的目的。
產(chǎn)品特點：
1) 采用觸摸屏控制，輸出功率連續(xù)可調(diào)；
2) 可實現(xiàn)定時關(guān)機；
3) 實時真空壓力檢測；
4) 輸出功率實時檢測，無輸出報警。
主要參數(shù)：
主要部件 | 指標名稱 | 參數(shù)指標 |
清洗倉體 | 清洗倉材質(zhì) | 高純石英 |
清洗倉尺寸 | 直徑100mm;長度270mm | |
射 頻 電 源 | 電源特性 | 該電源為全固態(tài)射頻電源，采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件，使產(chǎn)品的可靠性得以保證。 |
電源優(yōu)勢 | ●可長時間正常運行 ● 電源效率高、發(fā)熱少 | |
射頻功率 | 0~500W連續(xù)可調(diào)/0~1000W連續(xù)可調(diào) | |
信號頻率 | 13.56MHz ±0.005% | |
反射功率 | ≤100W | |
功率穩(wěn)定度 | ±0.1% | |
射頻接頭 | N型頭 | |
整機效率 | ≥75% | |
諧波分量 | ≤-50 dBc | |
冷卻方式 | 強制風(fēng)冷 | |
氣 體 測 量 | 測量部件 | 浮子流量計 |
氣體通道 | 兩通道 | |
A通道量程 | 10～100ml | |
B通道量程 | 16～160ml | |
真 空 獲 取 | 真空測量 | 數(shù)字真空計（電阻規(guī)） |
真空抽取 | 雙極旋片泵 | |
電機轉(zhuǎn)速 | 50Hz時為：1440；60Hz時為：1720。 | |
抽氣速率 | 50Hz時為：240L/Min；60Hz時為：288L/Min。 | |
真空量程 | 0.1Pa～10000Pa | |
極限真空 | 0.5Pa | |
電機噪音 | ≤56dB | |
管道接口 | 進氣口：KF16;排氣口KF16. | |
連接管道 | KF16真空波紋管 | |
真空閥門 | KF16球閥 | |
電機功率 | 400W | |
其 它 | 供電電源 | AC220V 50/60Hz |
整機功率 | 1000W/1500W | |
使用溫度 | -10℃ -- 40℃ | |
工作真空 | ≤40Pa | |
整機尺寸 | 540mmX650mmX600mm | |
整機重量 | 58kg（含包裝） |
等離子體產(chǎn)生原理：
在真空狀態(tài)下（約10~100Pa）,給氣體施加電場，氣體在電場提供的能量下會由氣態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榈入x子體狀態(tài)（也成物質(zhì)的第四態(tài)）。其中含有大量的電子、離子、光子和各類自由基等活性粒子。等離子體表面改性技術(shù)就是利用這些高能粒子和活性粒子與材料表面發(fā)生物理或化學(xué)的反應(yīng)，從而達到改變材料表面性質(zhì)的目的。
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