并把一維或二維納米材料連接成測(cè)量電橋;所述的信號(hào)處理電路包括:整流穩(wěn)壓電路、載波振蕩器、測(cè)量電橋和交流載波放大器。加速度(力)信號(hào)作用在質(zhì)量塊上,使膜片發(fā)生應(yīng)變,利用膜片上的納米材料測(cè)出應(yīng)變,利用全橋檢測(cè)方法,將材料應(yīng)變轉(zhuǎn)化為電信號(hào),再通過(guò)一系列的信號(hào)處理過(guò)程,從而得到被測(cè)加速度信號(hào)的數(shù)值。根據(jù)本發(fā)明的這種微型膜片式加速度傳感器具有很高的靈敏度,并可進(jìn)行批量生產(chǎn)。
5340B1三軸振動(dòng)高精度傳感器
加速度傳感器,包括由硅膜片、上蓋、下蓋,膜片處于上蓋、下蓋之間,鍵合在一起;一維或二維納米材料、金電極和引線分布在膜片上,并采用壓焊工藝引出導(dǎo)線;工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)振傳感器,主要是壓電式加速度傳感器。其工作原理主要利于壓電敏感元件的壓電效應(yīng)得到與振動(dòng)或者壓力成正比的電荷量或者電壓量。目前工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)典型采用IEPE型加速度傳感器,及內(nèi)置IC電路壓電加速度傳感器,傳感器輸出與振動(dòng)量正正比的電壓信號(hào)。
5340B1三軸振動(dòng)高精度傳感器